Brevet
Année : 2012
Jean-Baptiste VU VAN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://utt.hal.science/hal-03141931
Soumis le : lundi 15 février 2021-16:05:10
Dernière modification le : vendredi 12 janvier 2024-16:48:48
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03141931 , version 1
Citer
Gilles Lerondel, Laurent Divay. Method of nanostructuring a film or a wafer of material of the metal oxide or semiconductor type. China, Patent n° : CN102428215 (A). 2012. ⟨hal-03141931⟩
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