Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Jean-Baptiste VU VAN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://utt.hal.science/hal-02866321
Soumis le : vendredi 12 juin 2020-13:32:47
Dernière modification le : jeudi 12 décembre 2024-03:44:10
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02866321 , version 1
Citer
Hind Kadiri, Marco Faustini, Daniel Turover, David Grosso, Gilles Lerondel. Large scale sub-100 nm 2D nanostructuring obtained by nanosphere lithography combined with metal evaporation and reactive ion etching. JNTE215 4èmes Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micro-nanofabrication, Nov 2015, Ecully, France. ⟨hal-02866321⟩
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