Brevet
Année : 2010
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https://utt.hal.science/hal-02866038
Soumis le : vendredi 12 juin 2020-11:13:06
Dernière modification le : mardi 18 mars 2025-03:27:53
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02866038 , version 1
Citer
Gilles Lerondel, Laurent Divay. Method of nanostructring a film or a wafer of material of the metal oxide or semi-conductor type. Unknown Region, Patent n° : WO2010130963 (A1). 2010. ⟨hal-02866038⟩
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