Brevet
Année : 2015
GILLES LERONDEL : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://utt.hal.science/hal-03141429
Soumis le : lundi 15 février 2021-11:52:19
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03141429 , version 1
Citer
David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, N° de brevet: FR2993701 (B1). 2015. ⟨hal-03141429⟩
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