Brevet
Année : 2012
Jean-Baptiste VU VAN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://utt.hal.science/hal-02866019
Soumis le : vendredi 12 juin 2020-11:05:07
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02866019 , version 1
Citer
David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, N° de brevet: FR2993701 (A1). 2012. ⟨hal-02866019⟩
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