%0 Conference Paper %F Oral %T Fabrication par lithographie de nanostructures pour la microscopie optique en champ proche %+ Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (LNIO) %A Kochtcheev, Serguei %A Deturche, Régis %A Rumyantseva, Anna %A Lerondel, Gilles %A Royer, Pascal %< avec comité de lecture %B Journées du club nanotechnologie 2001 %C Paris, France %8 2001 %D 2001 %Z Engineering Sciences [physics]/Optics / PhotonicConference papers %G French %L hal-02460103 %U https://utt.hal.science/hal-02460103 %~ CNRS %~ UNIV-TROYES %~ UTT